JSR heeft een nieuwe chemiefabriek voor halfgeleidermaterialen voltooid in Ochang, in de Zuid-Koreaanse stad Cheongju. Deze faciliteit is bedoeld voor de productie van metaaloxideharsen (MOR), gebruikt in ultraviolette lithografische processen met extreme ultraviolet (EUV). De locatie, geëxploiteerd door dochteronderneming JSR Micro Korea, werd op 30 september 2026 afgerond en stelt Korea in staat om de eindfase van de productie van dit geavanceerde materiaal voor chipproductie ter plaatse uit te voeren.
De belangrijkste punten van de nieuwe JSR-fabriek in Zuid-Korea in 20 seconden
- De fabriek bevindt zich in het buitenlandinvesteringsgebied van Ochang, Cheongju.
- Het is JSR’s eerste productielocatie gewijd aan MOR-harsen voor EUV-lithografie.
- Het materiaal biedt hogere bestendigheid tegen etsen dan conventionele organische harsen en kan patrooninstorting verminderen.
- JSR streeft ernaar haar Zuid-Koreaanse klanten sneller te bedienen en de lokale productie en kwaliteitscontrole te versterken.
De opening vindt plaats op een moment dat halfgeleiderproducenten materialen nodig hebben die voldoen aan de steeds kleinere patroon-eisen. EUV-lithografie maakt het mogelijk zeer fijne structuren op siliciumwafer te fabriceren, maar het resultaat hangt ook af van de eigenschappen van de gebruikte lichtgevoelige materialen tijdens het proces.
De nieuwe fabriek brengt een fase van productie dichter bij de Koreaanse klanten, een van ’s werelds belangrijkste centra voor de fabricage van geheugen en halfgeleiders. Details over de jaarlijkse capaciteit van de faciliteit en wanneer deze op volle productie zal draaien, worden echter niet vermeld in het bericht.
Wat voegt MOR-hars toe aan chipproductie
MOR, of Metal Oxide Resist, zijn anorganische lichtgevoelige materialen gebaseerd op metaaloxiden. Ze worden gebruikt in lithografische processen om patronen op wafers te definiëren, die later via etstechnieken op de lagen van het halfgeleiderchip worden overgedragen.
Volgens informatie van The Elec bieden MOR-harsen een hogere etsbaarheid dan organische materialen. Deze eigenschap helpt de structuren tijdens productie beter te behouden en vermindert het risico van patrooninstorting bij zeer kleine dimensies.
Zo worden MOR-harsen gepositioneerd als een alternatief of aanvulling op chemisch-geleverde harsen (CAR), die veel worden gebruikt in fotolithografie. De keuze voor een materiaal hangt af van de procesvereisten; de komst van een nieuwe productie-eenheid betekent niet automatisch dat MOR-harsen conventionele resins volledig zullen vervangen.
JSR begon met de commercialisering van deze technologie na de overname van het Amerikaanse bedrijf Inpria in 2021. De nieuwe Zuid-Koreaanse faciliteit wordt de eerste productievestiging gewijd aan MOR voor EUV en zal de laatste fase van de fabricage uitvoeren. Details over of eerdere productiefasen ook in Korea zullen plaatsvinden en over de volumen van het materiaal dat de fabriek kan leveren, worden niet verstrekt.
Voor chipfabrikanten kan lokale toegang tot gespecialiseerde materialen de reactietijden verkorten en de coördinatie met leveranciers verbeteren. JSR geeft aan dat zij zich wil richten op het sneller bedienen van haar belangrijkste nationale klanten en haar lokale productie- en kwaliteitscontrolecapaciteiten wil versterken.
JSR versterkt haar industriële aanwezigheid in Zuid-Korea
JSR Micro Korea werd in 2003 opgericht in Ochang en richtte zich aanvankelijk op materialen voor displays. De nieuwe fabriek breidt haar scope uit naar geavanceerde materialen voor halfgeleiders en creëert een lokale basis voor de productie van MOR-harsen.
De voltooiingsceremonie werd bijgewoond door Tetsuro Hori, voorzitter en CEO van JSR; Takahiro Iijima, president van JSR Micro Korea; Shin Yong-han, gouverneur van Chungcheongbuk-do; en Shin Byeong-dae, vice-burgemeester van Cheongju.
Het bedrijf verwacht dat de faciliteit zal bijdragen aan een stabiele toelevering van gespecialiseerde materialen voor de Zuid-Koreaanse industrie. Aanvullende informatie over klanten, ordervolumes, investeringen, werkgelegenheid en capaciteiten wordt niet verstrekt, wat nodig zal zijn om de zakelijke omvang van de faciliteit volledig te bepalen.
De enige bevestigde vooruitgang is de voltooiing van de fabriek en de focus op de eindfase van MOR-productie voor EUV-lithografie.
Veelgestelde vragen
Wat zal JSR produceren in haar nieuwe fabriek in Zuid-Korea?
De fabriek zal MOR-harsen produceren, zijnde metalen oxide-resists, bedoeld voor EUV-lithografie in de fabricage van halfgeleiders.
Waar ligt de fabriek?
De faciliteit bevindt zich in het buitenlandinvesteringsgebied in Ochang, Cheongju, in de provincie Chungcheongbuk-do.
Welke voordelen bieden MOR-harsen?
Ze bieden betere etsbaarheid dan organische materialen en kunnen patrooninstorting verminderen bij de fabricage van zeer kleine structuren.
Wanneer begon JSR met het op de markt brengen van deze technologie?
JSR begon MOR-harsen te commercialiseren na de overname van het Amerikaanse bedrijf Inpria in 2021.